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菠萝网站研磨減薄機在工藝中出現問題如何解決

文章出處:菠萝网站研磨責任編輯:菠萝网站小編人氣:4011發表時間:2022-01-17 10:50:41【

 

減薄機研磨墊圖形大體的功能先是研磨墊之孔隙度可以協助研磨液於研磨過程輸送到不同的一些區域。還有另外的功能是協助將芯片表麵的研磨產物移去。研磨墊的機械性質影響到薄膜表麵的平坦度以及均勻度,所以控製結構及機械性質是非常重要的。

菠萝网站通過減薄研磨的方式對晶片襯底進行減薄,從而改善芯片散熱效果,但是由於減薄後的襯底背後還存在表麵損害層,殘餘應力會導致減薄後的外延片彎曲且容易在後續工序中碎裂,從而影響成品率。因此在減薄後應對襯底背光進行拋光。減薄到一定的厚度有利於後期封裝工藝。然後通過機械加工和化學反應的方法對樣品進行一係列減薄研磨拋光的工藝,樣品表麵到達所需要的厚度,平整度,粗糙度。

那個在工藝上出現的一些問題需要怎麽去解決呢,上蠟後平整度大於正負5um,菠萝网站要調整蠟層厚度及上蠟的壓力。減薄後厚度均勻性需要對砂輪進行修平,校正砂輪環中心固定螺母及球軸承主軸。當減薄後片子出現裂痕菠萝网站需要對砂輪進行修銳並檢查減薄步進速率,當研磨拋光後厚度均勻性較差時,菠萝网站要用平麵度測量規測量盤麵,用小塊的砝碼重力修正,如果研磨或者拋光的過程中有明顯的細微劃痕,菠萝网站就要清洗陶瓷盤/環;檢查磨料/拋光液。

那麽使用測厚儀放針的時候,菠萝网站應該避免針尖抬起後直接放落,損壞針尖,壓損樣品

說下菠萝网站要注意什麽事項吧,第一次進行上蠟壓片前檢查上壓盤是否處於水平位置,在減薄機使用前菠萝网站應該檢查真空壓力值,砂輪環使用一段時間後應該及時做修銳工作,在菠萝网站使用研磨機之前菠萝网站要提前半小時磨料配比及攪拌工作,在對小尺寸樣品進行研磨和拋光工藝時應貼上陪片進行工藝操作。

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