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光學平麵研磨拋光加工簡介

文章出處:菠萝网站研磨責任編輯:菠萝网站小編人氣:1516發表時間:2020-06-10 09:39:11【

光學平麵研磨拋光加工簡介


光學拋光研磨的簡述
光學加工是一個非常複雜的過程。難以通過單一加工方法加工滿足各種加工質量指標要求的光學元件。光學平麵研磨和拋光的基礎是加工材料的微去除。實現這種微去除的方法包括研磨加工、微粉顆粒拋光和納米材料拋光。根據不同的加工目的選擇不同的加工方法。
光學平麵的超精密加工通常需要粗磨、細磨和拋光,以不斷提高加工零件的表麵精度並降低表麵粗糙度。超精密磨削的範圍很廣,主要包括機械磨削、彈性發射加工、浮動磨削等加工方法。光學平麵磨削技術通常是指利用硬度高於待加工材料的微米級磨粒,在硬磨盤的作用下產生微切削和滾壓作用,去除待加工表麵的微量材料,減少加工變質層,降低表麵粗糙度,達到工件形狀和尺寸精度的目標值。
以氧化鋁陶瓷光盤的雙麵加工為例,介紹和分析了光學平麵的一般加工工藝,並實現了加工工藝。

根據光學平麵的加工質量要求,首先分析加工要求,進行工藝設計,然後選擇合適的工藝和方法,確定各工序達到的精度,最後進行加工實踐,達到預定的加工目標。

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針對氧化鋁陶瓷盤的平麵度要求,采用金剛石微粉大塊磨料磨削工藝進行磨削加工,並根據當前加工的表麵形狀進行調整,最終達到平麵度要求。針對氧化鋁陶瓷圓盤雙麵平行度的要求,選擇了一台圓台平麵磨床磨削工件平麵。針對氧化鋁陶瓷盤的表麵粗糙度要求,采用金剛石顆粒固定磨料對氧化鋁陶瓷盤的平麵進行拋光,拋光作為最終加工工序。拋光工藝選擇了固定磨料的拋光形式,解決了遊離磨料在研磨拋光過程中暴露出來的缺點。固定磨料是鬆散磨料的固結,它可以在研磨拋光機上高速研磨和拋光工件。
在陶瓷盤的平麵加工工藝中,除了圓台表麵磨床、平麵磨削和平麵拋光的步驟外,還在被加工表麵附著一層保護膜,從而在被加工零件的後續加工或保存過程中保護被加工零件的加工表麵的完整性,避免因擦傷和磨粒汙染而對被加工零件的表麵造成擦傷和損傷。

處理和測試總是不可分割的。為了確定工件是否滿足加工質量精度的要求,需要相應的測量儀器進行測量,測量結果作為工件加工過程中的數據反饋和加工表麵的確認。針對氧化鋁陶瓷板的加工質量要求,用數字千分尺測量陶瓷板加工零件的平行度,用表麵粗糙度測量儀測量氧化鋁陶瓷板平麵的表麵粗糙度,用激光平麵幹涉儀測量氧化鋁陶瓷板平麵的表麵形狀。

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由此可知,氧化鋁陶瓷盤的平麵加工工藝可以實現氧化鋁陶瓷盤的平麵度優於5個孔徑,陶瓷盤兩側的平行度小於等於2um,陶瓷盤的表麵粗糙度Ra優於0.1um,能夠滿足加工目標,滿足氧化鋁陶瓷盤的平麵加工質量要求。
圓台平麵磨床用於修整陶瓷盤坯。
研磨和拋光過程是達到陶瓷盤預定精度的重要環節。金剛石微粉用作磨料研磨和拋光陶瓷盤的平麵。
研磨拋光機采用南京利生光學機械有限公司JP型單軸研磨拋光機